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旋片式真空泵：轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近，在轉子槽內裝有兩個（或兩個以上）旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變容積?；y式真空泵：在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而泵腔分成兩個可變容積。
內走漏的影響: 在整個鋼液處置過程中, 體系的真空度是跟著鋼液的放氣量的削減而不斷升高的。在鋼液處置前期, 體系真空度低, 放氣量大, 需求前級泵的抽氣才能大, 通常選用多個泵并聯的方式增大體系的抽氣量。而當體系真空度不斷升高時, 體系的放氣量也隨之削減, 為了下降蒸汽耗量, 節(jié)省能源, 需封閉前級并聯泵中的若干只。泵布局圖中的3A、3B、4A、4B 被稱作前級泵, 或叫預抽泵,B1、B2叫增壓泵。當全泵投入時, B1、B2 開, 3B、4B 泵封閉。在布局圖中可見體系是經過兩個逆止閥與3B、4B 泵進行銜接的, 若是這兩個逆止閥開關不到位,或許有走漏, 都會給體系的才能形成影響尤其是閥的走漏會形成體系短路, 使上一級泵因背壓過高而無法正常作業(yè), 呈現二重真空表象。其次, 真空泵的噴嘴是由兩部分組成的, 這兩部分是靠法蘭銜接的,關于聯接法蘭在泵體內的真空泵, 若聯接處因為密封等緣由形成蒸汽的走漏, 也會給泵的功能形成影響。
羅茨泵：從國外羅茨泵生產情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵，所以國產羅茨泵一定要在占領基礎上設法進入國際市場另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術上已經成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質，實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。
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